回程誤差（Backlash）：

回程誤差是由行進方向反轉(zhuǎn)引起的定位誤差。反向間隙是在行進方向反轉(zhuǎn)時不會產(chǎn)生位置變化的指令運動部分。反向間隙是由傳動系中元素之間的間隙引起的。隨著間隙的增加，產(chǎn)生運動所需的輸入量也會增加。間隙的增加導(dǎo)致反向間隙誤差增加。反向間隙也會影響雙向可重復(fù)性。ALIO位移臺從系統(tǒng)設(shè)計上避免萬向節(jié)消除了回程誤差，大大提升位移臺整體性能。
 

直線度（Straightness）：

直線度是指在水平平面上，相對于行進方向的真實行進線路的偏差。平整度是指在垂直方向上，相對于行進方向的真實行進線路的偏差。對于ALIO位移臺，直線度和平整度參數(shù)都與位移臺的安裝表面有關(guān)，請聯(lián)系昊量光電了解詳情。

跳動（runout）:

跳動是旋轉(zhuǎn)機械系統(tǒng)的不準(zhǔn)確性，特別是工具或軸沒有完全與主軸線一致地旋轉(zhuǎn)。例如; 鉆孔時，由于鉆頭偏心旋轉(zhuǎn)（離軸而不是成一直線），跳動會導(dǎo)致孔大于鉆頭的標(biāo)稱直徑。對于軸承，跳動會導(dǎo)致機器振動并增加軸承負(fù)載。

跳動有兩種主要形式：

徑向跳動（Radial runout）：由于工具在平行于機器軸線的情況下發(fā)生平移，徑向跳動沿機器軸線的各個點測量結(jié)果相同。

軸向跳動（Axial runout）：由于工具或零件與軸線有角度，導(dǎo)致工具（或軸）尖端相對于基準(zhǔn)位置偏離中心旋轉(zhuǎn)。軸向跳動的大小取決于測量點與基準(zhǔn)位置的距離。

ALIO的6-D 納米精度工作臺的核心是串聯(lián)和平行運動學(xué)的結(jié)合，這使得傳統(tǒng)的六足運動學(xué)過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍(幾乎無限的XY行程，完全可編程的工具中心點位置)方面都有數(shù)量級的改進。

ALIO的Hybrid Hexapod®具有小于100納米的3維6軸點精度重復(fù)性，使其成為激光加工、光學(xué)檢測、光電子、半導(dǎo)體、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

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上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。

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