俄歇效應是P．Auger于1925年發現的。當電子束照射到樣品上時，樣品原子內的電子能級上會產生空位。這種狀態是不穩定狀態，樣品在趨于穩定的過程中會發射出熒光X射線，在1個電子躍遷到空位上的同時另一個電子逸出到自由空間。這個逸出的電子就叫做俄歇電子。
   
俄歇電子運動的能量與照射的電子束的能量無關，它取決于物質的固有能量。因此，測量自材料逸出的俄歇電子的能譜，就可以對材料進行結構分析。
     
俄歇電子能譜儀(AES)的照射源通常采用2k～10keV的電子束，俄歇電子運動能量的測量范圍是0～1keV。這個能量范圍中除俄歇電子以外還存在有基于2次電子發射的具有相同運動能量的其他多種電子。所以，不僅要測量電子的能量，還必須測量因俄歇電子所引起電子的增減。
       
如果用電現象來表現，就是有兩個頻率相同的信號，其中一個是一定值，而另一個相位和振幅是變化的。所以，在整體上就是被測定體傳輸函數微小變化的問題。對于微小的相位變化，可以用高靈敏度的鎖相放大器(PSD)輸出的變化作為測量結果使用。
      
調整參考信號的相位使PSD輸出為0后開始進行測量，PSD輸出的變化點表示俄歇電子的存在。
       
與AES相似，測量從樣品表面發射出電子的方法還有真空紫外光電子能譜分析法(Vacuum Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy,UPS)．X射線光電子能譜分析法(X-rav  Photoelectron Spectroscopy,XPS)等。AES在樣品表面元素的定性、定量分析方面特別有效。UPS可以分析樣品的能帶結構以及吸附原子價電子的狀態。
       
XPS能夠進行定性、定量分析以及原子、分子結合狀態的分析。
       
圖1是AES的裝置框圖。電子束被與鎖相放大器參考信號相同的頻率調制后照射樣品。自樣品發射出的俄歇電子經過筒形鏡分析器進行過濾。
 

圖1  俄歇電子能譜

       
筒形鏡分析器的外圓筒由電源E1加負電位，所以電子前進時受排斥力作用返向中軸。樣品發射出電子的運動速度與具有的能量成比例，只有具有某種速度的電子(B)才能夠順利地穿過兩個窗口到達傳感器。速度高的電子(A)以及速度低的電子(C)只能撞到內圓筒的壁上而不能被傳感器收集。所以，這種筒形鏡分析器對于不同速度（能量）電子的作用就相當于帶通濾波器BPF。通過改變電源E1就可以選擇到達傳感器的電子的速度，所以相當于電壓控制的BPF的作用。
       
用鎖相放大器分析來自傳感器的電信號，按控制器的指令記錄電子能譜的變化。