對于一件藝術品或者考古文物的了解，需要從各個方面進行研究，掌握其結構和化學組成可以幫助科研人員追溯文物的制作工藝、原料，為文物的保護和修復提供思路。通過掃描電鏡進行無損檢測，可以對文物的微觀形貌和化學組成研究提供幫助。

1. 古器具的工藝研究

利用掃描電子顯微鏡可以研究古陶器中的晶粒大小和相互結合情況以及內氣孔的形狀分布，可以觀察陶器的玻璃化程度，從而分析其燒成溫度，此外，如下述案例中所示，利用能譜分析可以還得到陶器中的化學組成，據此能夠推斷該年代陶器的大致制造工藝。
 

陶器的 EDS 成分分析

對鐵器而言可以分析所含的夾雜物成分、分布狀態、數量、相組織等，推演其制作工藝水平。如下述案例中所示為鐵制器具的 SEM 形貌分析和 EDS 元素分析，可以得到鐵器中夾雜物種類、尺寸和分布狀態，從而對該年代鐵器的生產工藝水平有一個大致的認識，還原當時的冶煉手段。
 

鐵器的夾雜物分析

2. 物件的鑒定

借助 EDS 成分分析的功能，可以在一定程度上對物件進行鑒定。
 

上述案例所示為一種白色粉末，是古代女性化妝用品，在掃描電鏡下觀察呈現出層狀結構，與貝殼的微觀結構極為相似，經 EDS 成分分析為 CaCO3，因此推斷該粉末為貝殼研磨而成。

3. 文物的無損檢測

對于文物保護工作者而言，文物的完整性保護跟文物的檢測同樣重要。掃描電鏡作為一種常用的無損檢測方法，可以用在文物的表面分析和成分分析上。Phenom XL G2 大倉式臺式掃描電鏡可以提供更大的樣品室，結合全自動拼圖 (AIM) 功能可以無損地獲取文物樣品全面的形貌特征。
 

利用全景拼圖功能獲取的樣品 SEM 圖片，其視野尺寸為 17.4mm。
 

適用于考古領域的飛納電鏡：Phenom XL G2 大倉室臺式掃描電鏡

· 分辨率：8nm
· 放大倍數：200,000X
· 燈絲材料：1,500 小時 CeB6 燈絲
· 抽真空時間：小于 30 秒
· 探測器：背散射電子探測題（選配二次電子和能譜探測器）
· 樣品室尺寸：100mm x 100mm（無需破壞文物，實現無損檢測）