所謂真空，是指在給定的空間內(nèi)，壓力低于101325Pa的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示，顯然，該壓力值越小則表示氣體越稀薄。工業(yè)上有各種各樣的真空泵，對于各種泵的性能都有規(guī)定的測試方法來檢驗(yàn)，主要參數(shù)有：

1、極限真空（通常稱為真空度）：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進(jìn)行長時間連續(xù)抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。

    普通真空表測得的真空值（即：表壓）為相對真空度，用負(fù)數(shù)表示，是指被測氣體壓力與大氣壓的差值。可以由下圖看出。

2、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時間內(nèi)流過的氣體體積。

    傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機(jī)油，介質(zhì)氣體內(nèi)會含有大量油霧。隨著儀器儀表工業(yè)的發(fā)展以及人們對環(huán)保的要求，各國的微型無油真空泵應(yīng)運(yùn)而生，普遍有以下規(guī)律：泵的價格和真空度指標(biāo)密切相關(guān)。真空度指標(biāo)是各國生產(chǎn)商努力追求的主要指標(biāo)，它反應(yīng)了相應(yīng)的機(jī)械加工、密封技術(shù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的整體實(shí)力，也是生產(chǎn)商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標(biāo)，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優(yōu)異的零部件，于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于真空度指標(biāo)的增幅。當(dāng)然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵時需要認(rèn)真考慮真空度指標(biāo)、抽氣速率指標(biāo)、自己的使用情況等（更多資料可參見http:///expe/app.html），這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。

    高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。

    振動和噪音。泵的抽氣速率和真空度越高，振動和噪音也越大。