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  • 5222 MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積簡介 2023-8-16
    ​MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積一、MOCVD簡述:MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition(金屬有機化合物化學氣相沉積設備),是在氣相外延(VPE)的基礎上發展起來的一種

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