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  • 4076 Yield Engineering Systems-HMDS VAPOR PRIME 工藝應用說明 2021-12-14
    摘要自 70 年代初以來,旋轉分配的 HMDS 底漆已被用于提高光刻膠對基材的附著力。 目前,HMDS 氣相底漆已成為一種成熟且廣泛使用的光刻膠涂層技術。 由于減少了化學品消耗,并且經(jīng)過處理的表面在

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