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5223 次 MOCVD金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積簡(jiǎn)介 2023-8-16
MOCVD金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積一、MOCVD簡(jiǎn)述：MOCVD全稱(chēng)是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備），是在氣相外延（VPE）的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種
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